熱式氣體質(zhì)量流量控制器是一種用于測量和控制氣體或液體的質(zhì)量流量儀表。它可以自動控制氣體流量，即用戶可以根據(jù)需要設定流量，MFC可以自動保持流量恒定在設定值。即使系統(tǒng)壓力波動或環(huán)境溫度變化，也不會偏離設定值。熱式氣體質(zhì)量流量控制器以結(jié)構簡單、可靠性好、 成本較低等特點得到越來越多的應用,在可以預見的未來，熱式流量計在流量計中的使用比例會進一步提高。在小流量控制技術的發(fā)展進程中，其使用和發(fā)展是其重要的一部分。
故障及處理：
(一)故障:流量波動大;處理方法:檢查流星計參數(shù)設置是否正確，檢查傳感器探頭是否被污染,如果傳感器可以帶壓插拔，可拔出傳感器探頭清洗。
(二)故障:流量計顯示滿量程;處理方法:首先應了解I藝流程是否變化，介質(zhì)流量增加超出儀表測量范圍;檢查傳感器接線是否有誤，可能有一條或數(shù)條傳感或激勵導線松脫或短路,被加熱的RTDI參照的RTD斷路或短路;是否因工藝變化造成介質(zhì)帶液,必要時可拆下傳感器探頭，確認探頭未被污染和帶液。
(三)故障:流量計測量值偏低;處理方法:檢查流量計傳感器RTD電阻及加熱器電阻是否正常;介質(zhì)內(nèi)是否的雜質(zhì)固化在傳感器探頭上,拆下傳感器探頭清洗。
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