氣體或液體質(zhì)量流量計(jì)MFM及質(zhì)量流量控制器MFC主要涉及的三種原理

      目前市場上常用的氣體質(zhì)量流量計(jì)或質(zhì)量流量控制器主要基于三種基礎(chǔ)原理：1、熱式原理，2、差壓式原理，3、科里奧利原理。而液體則主要涉及差壓式原理和科里奧利原理，熱式原理較少用于液體。而常用于氣體的熱式原理又分為三類。簡單介紹如下：

      1、熱式原理又主要分為毛細(xì)管熱式，插入式熱式，以及微電子（MEMS流量芯片）熱式三種，雖然這三種熱式的結(jié)構(gòu)不同，但是原理都是用傳感器感知?dú)怏w帶走熱量多少換算出氣體的質(zhì)量流量。 

         在這三種熱式質(zhì)量流量計(jì)中，以毛細(xì)管熱式技術(shù)較常用，工況適應(yīng)性較強(qiáng)，很多大的國際品牌均以此原理為主，例如bronkhorst布朗克斯特，horiba等，還有很多國產(chǎn)品牌也是毛細(xì)管熱式原理。

      2、壓差式，原理是利用泊肅葉定律來進(jìn)行補(bǔ)償計(jì)算，通過測量氣體或液體經(jīng)過某段管道內(nèi)前后的壓力差，計(jì)算得出氣體的體積流量，然后再換算到標(biāo)準(zhǔn)工況下流量。主要是以美國的Alicat艾里卡特等品牌為代表。（這里的壓差式指的主要是用于小管徑的小流量的應(yīng)用，不包括用于大管徑的孔板類差壓流量計(jì)）。這種壓差式原理既適用于氣體也適用于液體，但是這種原理的耐壓性能比熱式的要差一些，所以一般壓力較高的場景，不建議使用壓差式原理。

       3、科里奧利原理質(zhì)量流量計(jì)，其原理是當(dāng)流體流經(jīng)傳感器回路時(shí)，由于科里奧利力引起可變相移，這種位移與流體的質(zhì)量成正比；實(shí)際上，科里奧利質(zhì)量流量計(jì)給出的流量數(shù)據(jù)是純粹的質(zhì)量流量，有較高的精確度，在實(shí)際應(yīng)用中更多被用于各種液體流量的測量與控制，或者不知道具體組分的混合氣體，以及超高壓氣體，或氣液混合的流體。        實(shí)際上任何產(chǎn)品原理只是使其具備某些優(yōu)異性能的一部分因素，而一臺氣體質(zhì)量流量計(jì)所具備的性能優(yōu)劣以及所能適應(yīng)的場景，還需要從硬件技術(shù)、軟件技術(shù)、制造經(jīng)驗(yàn)等多方面考慮；如過只是應(yīng)用了很好的原理，但是其它技術(shù)配合不夠理想，那么產(chǎn)品性能可能還不如用傳統(tǒng)原理做出的產(chǎn)品。

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