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高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器

簡要描述：高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器：
-- ACU20P系列壓力控制器配備高性能傳感器和數(shù)字電路板，可提供更高精度和性能的壓力控制，
-- 通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個工藝過程，除了標(biāo)配的Modbus協(xié)議外，還支持Profibus協(xié)議。

產(chǎn)品型號：ACU20PC-LH
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-06-27
訪問量：1583

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數(shù)控電子壓力控制器EPC

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詳細(xì)介紹

一、ACU20P系列 高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器 產(chǎn)品特點：

-- 標(biāo)配一個壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制，該PC數(shù)字板具有控制壓力所需的所有功能。

-- 除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號，ACU20PCD還提供模擬量輸入/出信號，可通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個工藝過程。

-- 可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩(wěn)控制的特性。

二、應(yīng)用領(lǐng)域：

-- 半導(dǎo)體工藝，氣相和液相色譜儀，MOCVD過程中蒸汽壓力控制，擠塑成型過程中氣體壓力保護(hù)控制，高壓釜/反應(yīng)釜壓力控制等。

三、ACU20P系列 高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器 產(chǎn)品參數(shù)列舉：

（如所需性能與下述性能參數(shù)不同，請溝通定制。)

技術(shù)參數(shù)	精度(包括線性和滯后性)	≤±0.5%F.S
	壓力量程比	壓力計	1:100
		壓力控制器	1:50
	重復(fù)性	≤0.1%
	傳感器響應(yīng)時間	0.2s
	控制穩(wěn)定性	≤±0.05%F.S(測定條件：1 L/min N2)
	運行溫度	-10~+70℃
	溫度敏感性	0.1%FS/℃
	漏率	1×10-9 SCCS He
	方位影響度（90°變化）	＜0.03 KPa（絕壓/表壓傳感器）
		＜0.6 KPa（差壓傳感器）
	預(yù)熱時間	忽略不計

機(jī)械部件	材質(zhì)	不銹鋼
	工藝連接	G3/8"
	密封材質(zhì)	氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/聚四氟乙烯/全氟/乙丙橡膠其他
	防護(hù)等級（外殼）	IP40

電氣特性	電源	15~24Vdc
	數(shù)字輸出	RS485/RS232、Profibus-DP協(xié)議、Devicenet協(xié)議等
	電氣連接	DB9

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